平板显示
平板显示主要技术包括∶液晶显示(LCD,一般又分为TN/STN/TFT三种类型)、等离子显示(PDP)、有机发光二极管显示(OLED)、场发射显示器。其中TFT-LCD是目前主流的平面显示器,其工艺制程较为成熟,以TFT-LCD全制程为例,又细分为:阵列(Array)工艺、彩膜(CF)工艺、成盒(Cell)工艺、模组(Module)工艺。在平板显示制造过程中,过滤技术主要体现在阵列(Array)工艺、彩膜(CF)工艺、成盒(Cell)工艺中,尤其以阵列(Array)工艺过滤最为重要,对整个制程起着关键的作用。所以在平板显示制造过程中,尤其针对高世代线,过滤产品的问题直接会造成大批量的报废和损失。
平板显示制程主要过滤方案
- 纯水、超纯化学品过滤解决方案:适用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工艺蚀刻液、剥离液、显影液、清洗剂等多种湿制程化学品过滤,有机溶剂、酸、碱等电子化学品以及水过滤、基板清洗过滤等应用。
- 湿制程工艺大流量过滤解决方案:适用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工艺湿制程高流量(Ø83系列)、高世代线G7、G8.5、G10、G10.5等用超高流量(Ø130系列)过滤应用。
- 高纯气体过滤解决方案:适用于惰性气体、大宗气体、特殊气体等过滤应用。
- 水处理过滤解决方案: 适用于厂务水过滤、大流量蚀刻液过滤应用
2024-09-30